Elektron demeti litografisi
Elektron demeti litografisi, odaklanmış bir elektron demeti ile, elektrona duyarlı malzemelerle kaplı yüzeylere şekiller çizilmesi işlemidir.[1] Elektron demeti bu malzemenin çözünürlüğünü değiştirerek, istenilen kısımlarda bu malzemenin kalkmasını sağlayarak çizimler yapılmasını mümkün kılar.
Bir elektron demeti litografisi kurulumu.
Kaynakça
- McCord, M. A.; Rooks, M. J. (2000). SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication (İngilizce).
This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.